物料能力 | |
硅片尺寸 | 156~230mm |
檢測(cè)缺陷 | 隱裂、劃傷、黑點(diǎn)斑、黑邊、臟污、同心圓、 吸盤印 舟印、卡點(diǎn)印、崩邊缺角等缺陷 |
設(shè)備* | |
供電 | 220VAC±10%,16A,50/60Hz |
安裝位置 | 硅片上料機(jī) |
通訊要求 | IO/tcp協(xié)議 |
檢測(cè)能力* | |
運(yùn)行模式 | 在線檢測(cè),全檢或抽檢 |
拍照方式 | 面陣或線掃 |
檢測(cè)節(jié)拍 | |
自動(dòng)檢測(cè) | ≤0.5s/次 |
Uptime | ≥99.9%,計(jì)算方式:[1-(維護(hù)+維護(hù)時(shí)間)/總時(shí)間]*100% |
準(zhǔn)確性 | 誤檢率:≤0.1%(良率大于95%以上) 漏檢率:≤0.1%(良率大于95%以上) |
輔助功能 | 檢測(cè)結(jié)果可上傳MES系統(tǒng) |
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