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硅片檢測(cè)
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MatrixSolar·硅片同心圓檢測(cè)設(shè)備
01
高速高效檢測(cè):?jiǎn)未谓Y(jié)果給出最低至200ms/次
02
超高檢出精度:AI結(jié)合傳統(tǒng)算法,保證缺陷超高檢出率
03
安全無損檢測(cè):在線非接觸式檢查,杜絕檢測(cè)過程中的損傷
04
安全檢測(cè)方案:自主研發(fā)LED成像系統(tǒng),無高溫及損傷風(fēng)險(xiǎn)
05
保障高效生產(chǎn):軟件支持一拖二雙通道同時(shí)運(yùn)行,在降低成本同時(shí)提高效率
產(chǎn)品規(guī)格
物料能力
硅片尺寸 156~230mm
檢測(cè)缺陷 隱裂、劃傷、黑點(diǎn)斑、黑邊、臟污、同心圓、
吸盤印 舟印、卡點(diǎn)印、崩邊缺角等缺陷
設(shè)備*
供電 220VAC±10%,16A,50/60Hz
安裝位置 硅片上料機(jī)
通訊要求 IO/tcp協(xié)議
檢測(cè)能力*
運(yùn)行模式 在線檢測(cè),全檢或抽檢
拍照方式 面陣或線掃
檢測(cè)節(jié)拍
自動(dòng)檢測(cè) ≤0.5s/次
Uptime ≥99.9%,計(jì)算方式:[1-(維護(hù)+維護(hù)時(shí)間)/總時(shí)間]*100%
準(zhǔn)確性 誤檢率:≤0.1%(良率大于95%以上)
漏檢率:≤0.1%(良率大于95%以上)
輔助功能 檢測(cè)結(jié)果可上傳MES系統(tǒng)

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