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中道先進(jìn)封裝
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聚芯5000
MatrixSemi 5000
缺陷自動(dòng)分類與良率管理系統(tǒng)

Provide optimal industrial AI solutions

Provide optimal industrial AI solutions

AI驅(qū)動(dòng)·ADC缺陷檢測/分類·智能良率管理·節(jié)省80%人力
1+N智能管理 納米級檢測分析·覆蓋前道與先進(jìn)封裝
  • 高效省人
    高效省人

    AI自動(dòng)化缺陷檢測系統(tǒng)，可節(jié)省人力80+%

    單個(gè)系統(tǒng)支持每小時(shí)80片12寸晶圓檢測，穩(wěn)定高效

    支持1拖N智能管理方式，大幅減少人力成本

  • 準(zhǔn)確可靠
    準(zhǔn)確可靠

    漏檢率1?，嚴(yán)重缺陷0漏檢，超高檢測精度，準(zhǔn)確可靠

    分類準(zhǔn)確率>98%，可準(zhǔn)確識別晶圓/封測工藝60+種缺陷

    納米級成像分析，支持各種封測工藝產(chǎn)品的缺陷檢測

  • 創(chuàng)新技術(shù)
    創(chuàng)新技術(shù)

    同時(shí)滿足前道和后道缺陷檢測、缺陷分類、智能量化等

    創(chuàng)新系統(tǒng)平臺，定制化缺陷規(guī)格設(shè)置，便捷易用

    支持靈活的良率管理選擇，滿足客戶生產(chǎn)需求

  • 智能管理
    智能管理

    多機(jī)臺管理

    納米到微米級的成像分析，覆蓋前道和后道工藝

    數(shù)字化質(zhì)量管理閉環(huán)，助力工廠降本增效

精準(zhǔn)識別超60+種晶圓/封測缺陷

純化層損傷

PI破損

Bump PI破損

PI氣泡

錫球損傷

膠殘留

外來物

銅線脫落

產(chǎn)品規(guī)格
系統(tǒng)檢測能力*
支持產(chǎn)品 晶圓、中道先進(jìn)封裝、后道封測，及面板等其它復(fù)雜制程
檢測精度 漏檢率1%，嚴(yán)重缺陷達(dá)到 0漏檢
檢測速度 單系統(tǒng)UPH：12“ 80chip
系統(tǒng)功能*
多機(jī)臺管理 支持對接Camtek、Rudolph等傳統(tǒng)AOI設(shè)備
缺陷追蹤 IC制程關(guān)聯(lián)，缺陷級顆粒度追蹤，實(shí)現(xiàn)精細(xì)化良率管理
數(shù)據(jù)存儲 最大支持3年原始數(shù)據(jù)存儲（可根據(jù)用戶需求配置）

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