- AI深度學(xué)習
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聚時科技研發(fā)積累了數(shù)百個深度學(xué)習模型（MatrixVision），從復(fù)雜圖形圖像感知，到復(fù)雜缺陷模式認知學(xué)習，實現(xiàn)高精度智能化機器視覺。基于機器學(xué)習的大規(guī)模ADC（自動缺陷分類），實現(xiàn)半導(dǎo)體制造（包括光伏硅片）的YMS良率管理的數(shù)字化閉環(huán)。針對工業(yè)控制場景，開發(fā)專用大規(guī)模深度網(wǎng)絡(luò)、深度強化學(xué)習、Sim-to-Real與機器人AI控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了AI工控與復(fù)雜機器人柔性系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新。
- 2D/3D精密視覺
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復(fù)雜視覺模組設(shè)計能力
2D/3D檢測、光譜切換、輔助調(diào)焦標定，明場暗場灰場等；復(fù)雜場景檢測自適應(yīng)支持的多模態(tài)視覺系統(tǒng)。
先進的視覺成像仿真根據(jù)缺陷表面光學(xué)特性，進行建模仿真和關(guān)鍵參數(shù)的評估預(yù)算。自研多種精密光機系統(tǒng)，基于硬件加速的高效并行檢測和測量視覺系統(tǒng)，無延遲。
- 精密光學(xué)技術(shù)
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復(fù)雜2D+3D視覺模組及系統(tǒng)設(shè)計
高精度微觀檢
實時跟蹤聚焦
復(fù)雜工藝流程
明暗場多光譜
檢驗規(guī)格不同
多倍率物鏡
精密光學(xué)
標定方法自研多模式照明及成像光學(xué)設(shè)計，搭配AI算法調(diào)度平臺和良率管理系統(tǒng)
實現(xiàn)對常規(guī)及非典型缺陷的快速定位與分類，助力半導(dǎo)體良率控制更加高效、智能
- 微納精密機械控制
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半導(dǎo)體檢測設(shè)備專用精密機械及運動控制創(chuàng)新技術(shù)。專用的高精密工件臺及運動控制系統(tǒng)，支持對視覺檢測系統(tǒng)的實時觸發(fā)控制形成閉環(huán)反饋，提升檢測信號采集質(zhì)量和效率。豐富的半導(dǎo)體檢測設(shè)備精密機械及運動控制設(shè)計、裝調(diào)及系統(tǒng)集成經(jīng)驗。
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