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中道先進(jìn)封裝
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聚芯6000
MatrixSemi 6000
晶圓級(jí)2D+3D精密光學(xué)檢測量測設(shè)備

Provide optimal industrial AI solutions

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3D+2D一體化量測+檢測解決方案
高速3D掃描處理·提高產(chǎn)量 強(qiáng)化過程控制·良率精準(zhǔn)提升
  • 低COO
    低COO

    3D+2D一體化測量檢測設(shè)備

    高精密3D+2D光學(xué)系統(tǒng)，高速的3D掃描與數(shù)據(jù)處理技術(shù)，提高產(chǎn)率和客戶良率，降低COO

  • 智能化
    智能化

    AI良率管控系統(tǒng)ADC(缺陷自動(dòng)分類)，產(chǎn)線異常原因及時(shí)分析，實(shí)現(xiàn)工藝閉環(huán)控制、提升良率

    高效靈活的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的缺陷檢測軟件平臺(tái)和算法

  • 高精度
    高精度

    3D：精度&重復(fù)性：0.3~0.5μm

    2D：像素精度：0.55~2.5um

    缺陷檢出率：>99%

    漏檢率：<0.1%

  • 定制化
    定制化

    根據(jù)客戶需求，可配置不同功能

    針對(duì)特殊需求，可定制化開發(fā)

產(chǎn)品規(guī)格
檢測能力*
支持產(chǎn)品 4”、6”、8”、12” 晶圓
3D檢測 精度&重復(fù)性：0.3~0.5μm；測量范圍：2~400μm
橫向分辨率：優(yōu)于2μm
2D檢測 像素精度：0.55~2.5um（可配置）
視野：8.5mm*6mm @2x
產(chǎn)率 45WPH@12” 85WPH@8”
3D：12WPH@12”；20WPH@8”
檢測功能*
主要檢查Bump、RDL、TSV等制程中的3D形貌誤差，2D尺寸偏差以及表面缺陷，分為3D/2D/SD檢查
3D檢查 Bump的高度和共面性、晶圓厚度、PR膠層、RDL高度
Die/Wafer彎曲度BOW、翹曲度WARR
2D檢查 Bump、Pad的尺寸、間距、RDL、UBM、Via導(dǎo)通孔
TSV開孔的直徑、寬度、長度、位置偏差、overlay、die偏移
SD檢查 劃傷、臟污、表面色差、shape缺陷、Bridge Defect、Bump Miss

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