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MatrixSolar·石英舟檢測設(shè)備

主要用于擴(kuò)散上下料/氧化上下料石英石內(nèi)部硅片的檢測，檢測硅片是否存在少片、空片、碎片等。實時監(jiān)控舟內(nèi)片的情況，及時報警反饋設(shè)備或人工處理。

實時管理監(jiān)控當(dāng)前工藝段的成品率，避免不良品隨花籃流入后續(xù)制程，提高整體產(chǎn)線效率。

產(chǎn)品規(guī)格

物料能力
支持產(chǎn)品	單晶：PERC、HJT、TOPCon等
兼容產(chǎn)品尺寸	擴(kuò)散上下料/氧化上下料，基礎(chǔ)尺寸182±0.5mm，向下尺寸不限，向上兼容至230±0.5mm，硅片厚度≥140μm，常規(guī)100片的花籃
檢測功能*
檢測項目	石英舟滿舟碎片、缺片、空舟舟槽內(nèi)碎片、頂齒內(nèi)碎片等
自動檢測	AI全自動在線精準(zhǔn)檢測，實時獲取硅片圖像，缺陷分類
數(shù)據(jù)統(tǒng)計	直觀便捷提供可視化量化數(shù)據(jù)，幫助客戶完善工藝
檢測能力*
產(chǎn)能	≥12000 pcs/h（約10舟/h）
檢測效率	單次檢測≤0.6s（單次拍照處理）
Uptime	≥99%，計算方式：[1-(維護(hù)+維修時間)/總時間]*100%
最高檢測精度	0.06mm/pixel
準(zhǔn)確性	檢出率：≥99% 漏檢率：≤0.5% 檢測良率：≥95%