預(yù)處理+視覺檢測,減少人工參與,節(jié)省人工成本;
搭配自動化,降低人工作業(yè)難度,節(jié)省管理成本;
實時監(jiān)測,避免不良片流入后道工序, 減少返工,提高產(chǎn)能;
提前檢測,避免大批量碎片產(chǎn)生,節(jié)省損耗成本;
實時監(jiān)測舟狀態(tài),輔助人員舟維護(hù),節(jié)省維護(hù)成本;
掉片
舟底碎片
翹片
物料能力 | |
硅片尺寸 | 156~230mm |
檢測缺陷 | 翹片、掉片、舟面異物、舟槽內(nèi)雙片、舟槽內(nèi)少片、 舟內(nèi) 破片,舟葉變形,舟葉破損,陶瓷桿松動等 |
設(shè)備* | |
供電 | 220VAC±10%,16A,50/60Hz |
安裝位置 | PE段管式鍍膜爐 |
通訊要求 | IO/tcp協(xié)議 |
檢測能力* | |
運行模式 | 在線檢測,全檢或抽檢 |
拍照方式 | 面陣或線陣 |
檢測節(jié)拍 | ≤0.6s/次 |
Uptime | ≥99.5%,計算方式:[1-(維護(hù)+維護(hù)時間)/總時間]*100% |
檢測節(jié)拍 | 誤檢率:≤0.02%(良率大于95%以上) 漏檢率:≤0.02%(良率大于95%以上) |
輔助功能 | 檢測結(jié)果可上傳MES系統(tǒng) |
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