硅片隱裂檢測是在線監(jiān)測硅片內(nèi)部缺陷的有效方式。
聚時科技采用實時在線檢測方式,加快了整體檢測效率;減少人工目視檢查造成的誤判和漏檢,分段控制避免不良品流入后段影響整體良率。
物料能力 | |
支持產(chǎn)品 | 原硅片、PE前制程片 產(chǎn)品尺寸:≤230mm |
產(chǎn)品外觀尺寸 | L450(mm)*W150(mm)*H520(mm),高度按線體環(huán)境調(diào)節(jié) |
檢測功能* | |
檢測內(nèi)容 | 隱裂、崩邊缺角、針孔、黑點、片放反,線痕等 |
自動檢測 | AI全自動在線精準檢測,無需人工復(fù)判 |
數(shù)據(jù)統(tǒng)計 | 直觀便捷提供可視化量化數(shù)據(jù),幫助客戶完善工藝 |
檢測能力* | |
產(chǎn)能 | >7200pcs/h |
檢測效率 | <200ms/pcs |
Uptime | ≥99.9%,計算方式:[1-(維護+維修時間)/總時間]*100% |
最高檢測精度 | 70um |
準確性 | 誤檢率:≤0.03% 漏檢率:≤0.01% 檢測良率:≥95%,漏檢數(shù)量/檢測總量,10000片以上 |
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