物料能力 | |
硅片尺寸 | 156~230mm |
檢測缺陷 | 隱裂、斷柵、偏移、燒結(jié)不良、劃傷、黑點斑、手指印 同心圓等缺陷 |
設(shè)備* | |
供電 | 220VAC±10%,16A,50/60Hz |
安裝位置 | 燒結(jié)后的PL檢測 |
通訊要求 | IO/tcp協(xié)議 |
檢測能力* | |
運行模式 | 在線檢測,全檢或抽檢 |
拍照方式 | 面陣或線陣 |
檢測節(jié)拍 | ≤0.5s/次 |
Uptime | ≥99.9%,計算方式:[1-(維護+維護時間)/總時間]*100% |
準確性 | 誤檢率:≤0.01%(良率大于95%以上) 漏檢率:≤0.01%(良率大于95%以上) |
輔助功能 | 檢測結(jié)果可上傳MES系統(tǒng) |
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