主要用于制絨下料/堿拋下料花籃內(nèi)部硅片的粘片檢測(cè),檢測(cè)花籃內(nèi)硅片是否存在破片、空片、插片不齊、錯(cuò)齒、粘片等不良。
實(shí)時(shí)監(jiān)控花籃內(nèi)部片的情況,及時(shí)報(bào)警反饋設(shè)備或人工處理,管控當(dāng)前工藝段的成品率,避免不良情況隨花籃流入后續(xù)制程降低設(shè)備開(kāi)機(jī)率,從而提高整體產(chǎn)線效率。
物料能力 | |
支持產(chǎn)品 | 單晶:PERC、HJT、TOPCon等 |
兼容產(chǎn)品尺寸 | 制絨下料/堿拋下料,基礎(chǔ)尺寸182±0.5mm,向下尺寸不限,向上兼容至230±0.5mm,硅片厚度≥140μm,常規(guī)100片的花籃 |
檢測(cè)功能* | |
檢測(cè)項(xiàng)目 | 破片、空片、插片不齊、錯(cuò)齒、粘片等 |
自動(dòng)檢測(cè) | AI全自動(dòng)在線精準(zhǔn)檢測(cè),實(shí)時(shí)獲取硅片圖像,缺陷分類 |
數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì) | 直觀便捷提供可視化量化數(shù)據(jù),幫助客戶完善工藝 |
檢測(cè)能力* | |
產(chǎn)能 | ≥14000 pcs/h(140籃/小時(shí)) |
檢測(cè)效率 | 單花籃檢測(cè)≤3s(含算法與自動(dòng)化取圖) |
Uptime | ≥99.9%,計(jì)算方式:[1-(維護(hù)+維修時(shí)間)/總時(shí)間]*100% |
最高檢測(cè)精度 | 0.06mm/pixel |
準(zhǔn)確性 | 檢出率:≥99% 漏檢率:≤0.01% 檢測(cè)良率:≥95% |
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